Fotoresist: verschil tussen versies

Uit Wikipedia, de vrije encyclopedie
Verwijderde inhoud Toegevoegde inhoud
Geen bewerkingssamenvatting
 
Geen bewerkingssamenvatting
Regel 1: Regel 1:
Een '''fotoresist''' is een materiaal dat onder invloed van [[UV-licht]] verandert:
Een '''fotoresist''' is een materiaal dat onder invloed van [[UV-licht]] verandert:
* Een positiefe resist wordt oplosbaar onder invloed van licht; de afgedekte delen blijven over na het spoelen.
* Een positief resist (PR) wordt oplosbaar onder invloed van licht; de afgedekte delen blijven over na het spoelen.
* Een negatief resist wordt net hard door licht; na spoelen met de ontwikkelingsvloeistof, worden de delen die zich achter het belichtingsmasker bevonden, weggespoeld.
* Een negatief resist (NR) wordt net hard door licht; door de [[ontwikkelingsvloeistof]] worden de delen die zich achter het [[belichtingsmasker]] bevonden, weggespoeld.





Versie van 2 aug 2006 16:08

Een fotoresist is een materiaal dat onder invloed van UV-licht verandert:

  • Een positief resist (PR) wordt oplosbaar onder invloed van licht; de afgedekte delen blijven over na het spoelen.
  • Een negatief resist (NR) wordt net hard door licht; door de ontwikkelingsvloeistof worden de delen die zich achter het belichtingsmasker bevonden, weggespoeld.