Mapper Lithography

Uit Wikipedia, de vrije encyclopedie
Ga naar: navigatie, zoeken
Mapper Lithography
Oprichting 2000
Oprichter(s) Pieter Kruit, Bert Jan Kampherbeek en Marco Wieland
Sleutelfiguren Bert Jan Kampherbeek (CEO), Marco Wieland (CTO), Guido de Boer (COO)
Hoofdkantoor Delft, Nederland
Werknemers 200 (2012)
Producten Maskerloze elektronenbundel lithografiemachines voor de halfgeleiderindustrie
Website MAPPER
Portaal  Portaalicoon   Economie

Mapper Lithography opgericht in 2000, is een toeleverancier voor de halfgeleiderindustrie. Het bedrijf houdt zich bezig met de ontwikkeling en productie van een maskerloze elektronenbundel lithografiemachine (wafer stepper).

Techniek[bewerken]

De traditionele lithografiemachines maken gebruik van fotografische technieken om uiterst kleine elektrische schakelingen, die een oppervlakte van minder dan 1/100e van een menselijke haar hebben, op een siliciumwafer te etsen. Deze gangbare machines bevatten een masker dat de blauwdruk van de chip bevat, en het patroon daarvan wordt op een lichtgevoelige laag aangebracht (vergelijkbaar met een foto die belicht wordt). Een elektronenbundelmachine schrijft de structuren van de chip rechtstreeks op de wafer op grootten van tussen 10 en 14 nanometer met 13.260 parallelle elektronenbundels.

De werkwijze kan worden vergeleken met de wijze waarop een beeld wordt gevormd door middel van de cathodestraalbuis in oude televisies. In zo’n tv beweegt een elektronenstraal zeer snel over het beeldscherm. Zodra de stralen in contact komen met het scherm, dat is gecoat met lichtgevoelig fluorescerend materiaal, ontstaat het tv-beeld. In de elektronenbundel-machine wordt het beeld alleen niet zichtbaar gemaakt, maar als het ware opgeslagen in een film die gevoelig is voor elektronen. Na de 300mm, 110-bundel machine, die werd getest door TSMC in Taiwan en het onderzoeksinstituut CEA-Leti in Grenoble, wordt nu toegewerkt naar industriële productiestandaarden met een capaciteit van 10 wafers per uur.

De optische elektronenbron genereert 13.260 bundels die op de wafer worden gericht via een reeks elektrostatische lenzen. Iedere bundel heeft zijn eigen optische kolom zodat ze niet door elkaar kunnen lopen. Dit verzekert een hoge doorvoer van meer dan 10 wafers per uur bij een hoge resolutie, kleiner dan 25 nanometer. De 13.260 bundels worden opgewekt door het splitsen van één enkele elektronenbundel uit één elektronenbron. De bundels worden zodanig geordend dat zij een rechthoekige spleet vormen met een wijdte van 26 millimeter, hetzelfde formaat van een veld in een optische stepper. Tijdens het stralen worden de elektronenbundels 2 micrometer gebogen loodrecht op de beweging van de wafertafel. Dit betekent dat met één scan van de wafer een volledig veld van 26mm bij 33mm kan worden bestraald. Tijdens het gelijktijdig scannen van de wafer en de afbuiging van de elektronenbundels worden de bundels aan en uit geschakeld door 13.260 lichtsignalen, een voor iedere bundel. De lichtsignalen worden opgewekt in een datasysteem dat in een bitmapformaat de patronen van de chip bevat.

Russische investering[bewerken]

Op 23 augustus 2012 werd bekend dat de onderneming EUR 80 miljoen had opgehaald voor de bouw van een nieuwe fabriek in Rusland en een assemblagefabriek in Delft waarin op afzienbare termijn 20 machines per jaar moeten worden geproduceerd. De Russische durfinvesteerder RUSNANO investeert EUR40 miljoen in Mapper, terwijl de overige EUR40 miljoen bijeen wordt gebracht door bestaande aandeelhouders zoals ADP Industries, de investeringsmaatschappij van Arthur Del Prado, en investeringsmaatschappij Parcom Capital.

Mapper is gevestigd in Delft, nabij de Technische Universiteit Delft, een van de aandeelhouders.

Externe links[bewerken]