Dichloorsilaan

Uit Wikipedia, de vrije encyclopedie
Ga naar: navigatie, zoeken
Dichloorsilaan
Structuurformule en molecuulmodel
Structuurformule van Dichloorsilaan
Structuurformule van Dichloorsilaan
Molecuulmodel van Dichloorsilaan
Molecuulmodel van Dichloorsilaan
Molecuulmodel van Dichloorsilaan
Molecuulmodel van Dichloorsilaan
Algemeen
Molecuulformule
     (uitleg)
H2Cl2Si
IUPAC-naam Dichloorsilaan
Andere namen DCS
Molmassa 101.01 g/mol
SMILES
ClSiCl
CAS-nummer 4109-96-0
PubChem 61330
Beschrijving Kleurloos gas met een karakteristieke geur
Waarschuwingen en veiligheidsmaatregelen
VN-nummer 2189
Fysische eigenschappen
Smeltpunt -122 °C
Kookpunt 8 °C
Vlampunt -28 °C
Dampdruk (20o) 163.6 Pa
Oplosbaarheid in water Reageert g/L
Waar mogelijk zijn SI-eenheden gebruikt. Tenzij anders vermeld zijn standaardomstandigheden gebruikt (298,15 K of 25 °C, 1 bar).
Portaal  Portaalicoon   Scheikunde

Dichlorosilaan (H2SiCl2), meestal afgekort tot DCS, is een kleurloze gasvormige verbinding met een karakteristieke geur. De stof heeft zeer ruime explosiegrenzen: 4.1–99%. DCS wordt voornamelijk gebruikt in de productie van halfgeleiders op basis van siliciumnitride. Om dit te bereiken wordt DCS gemengd met ammoniak (NH3) in een LPCVD kamer waarin vervolgens het siliciumnitride als een film gevormd wordt.

Een hoge verhouding DCS:NH3 (vaak 16:1), resulteert in nitridefilms met een lagere mechanische spanning.

Externe links[bewerken]