ASML

Uit Wikipedia, de vrije encyclopedie
Ga naar: navigatie, zoeken
ASML Holding N.V.
De 82 meter hoge toren van het ASML hoofdkantoor in Veldhoven
De 82 meter hoge toren van het ASML hoofdkantoor in Veldhoven
Beurs NASDAQ: ASML, Euronext: ASML
Oprichting 1984
Oprichter(s) ASM International en

Koninklijke Philips

Sleutelfiguren Peter Wennink (President & CEO); Martin van den Brink (President & CTO)
Hoofdkantoor Veldhoven, Nederland
Werknemers 8.497 (2012)[1]
Producten lithografiesystemen voor de halfgeleiderindustrie
Omzet Gestegen € 5,245 miljard (2013)
Winst Gestegen € 1,015 miljard (2013)
Marktkapitalisatie € 28,2 miljard (21 januari 2014)
Website ASML
Portaal  Portaalicoon   Economie

ASML is een Nederlands hightechbedrijf en een van de belangrijkste leveranciers van machines voor de halfgeleiderindustrie, in het bijzonder steppers en scanners, die worden gebruikt bij het maken van chips. Klanten zijn veelal chipproducenten.

Het hoofdkantoor en bedrijvencomplex van ASML staat in Veldhoven, waar zowel research and development en assemblage in cleanrooms plaatsvindt. Het voormalige hoofdkantoor wordt nu benut door Assembléon. Het bedrijf heeft tevens zestig servicepunten in veertien landen ter ondersteuning van de plaatsing en levering van machines en reserve-onderdelen.

ASML is ontstaan uit een joint venture van ASM International en Koninklijke Philips. Het bedrijf is sinds 1995 beursgenoteerd en vormt een onderdeel van de AEX en NASDAQ onder het symbool ASML. Voornaamste concurrenten zijn Canon en Nikon.

Technologie[bewerken]

ASML-systemen - wafersteppers en step-and-scan-machines - gebruiken een fotografisch proces om patronen op siliciumwafers aan te brengen. Een lichtbron als een laser projecteert een afbeelding van dit patroon via een verkleinende lens op de wafer. Deze is bedekt met een laagje lichtgevoelig materiaal (fotoresist). De wafer wordt daarna ontwikkeld en verder behandeld, waarna de eerste laag van het transistorpatroon verschijnt. Deze procedure wordt 30 tot 40 keer herhaald en laagje voor laagje wordt een wafer vol met IC’s gebouwd. Uiteindelijk worden deze IC’s toegepast in een veelheid aan producten, zowel consumptiegoederen als notebooks, mobiele telefoons en MP3 spelers, maar ook professionele apparatuur. ASML claimt dat van alle computerchips die in de wereld gemaakt worden, ruim 60% wordt vervaardigd met machines van ASML (gegevens 2007).[2]

De grootste opgave voor ASML en haar klanten - chipfabrikanten - is om steeds kleinere details op de chips te kunnen aanbrengen, waarbij deze meer reken- of opslagcapaciteit bezitten bij een lager energieverbruik. Kortere afstanden tussen componenten hebben ook een snelheidsverhoging als gevolg. Tot nog toe volgde het aantal componenten per oppervlakte-eenheid de Wet van Moore. Deze ervaringsregel laat een verdubbeling zien na vaste tijdsintervallen. Het zijn met name de lithografie systemen die bepalen of de details op een chip kleiner kunnen worden: de afbeeldingen moeten namelijk steeds verder worden verkleind, en dit vereist licht van een steeds kortere golflengte, of gebruikmaking van technieken die licht van een bepaalde golflengte tot het uiterste kunnen benutten. ASML claimde in februari 2007 dat haar systemen de allerkleinste afbeeldingen konden maken op silicium wafers: 37 nanometer.[3] ASML gebruikt hiertoe de immersielithografie waar ze als eerste mee aan de slag zijn gegaan.

Ondertussen wordt gewerkt aan de ontwikkeling van machines op basis van extreem ultraviolet licht (EUV), waarmee nog kleinere details mogelijk zijn.

Naam[bewerken]

Officieel is de naam ASML geen afkorting. De naam is ontstaan uit de joint venture tussen Philips en Advanced Semiconductor Materials International (ASMI), die naam ASM Lithography meekreeg. Toen dit bedrijf in 1988 verzelfstandigde, bleek het niet verstandig om een nieuwe naam te nemen en is gekozen voor ASML als officiële naam. [4]

Geschiedenis[bewerken]

Het bedrijf werd in 1984 opgericht als een joint venture tussen ASM International en Philips om de Philips stepper (SIRA III) op de markt te brengen. Oorspronkelijk was het gevestigd in een houten noodgebouwtje op het voormalige Natlab-terrein van Philips (de huidige High-Tech Campus) te Eindhoven. De PAS 2000 (Philips Automatic Stepper) werd aan Philips verkocht.

In 1985 had men 100 werknemers en werd een hoofdkantoor te Veldhoven in gebruik genomen. Ook kwam er een kantoor in Tempe in Arizona. In 1986 bracht ASML het eerste systeem op de markt onder de naam PAS 2500. Dit was een zogenaamd g-line systeem, dat gebruik maakte van ultraviolet licht met een golflengte van 436 nm. Men begon een samenwerking met de lenzenfabrikant Carl Zeiss.

Twee jaar later, in 1987, kwam de PAS 2500/40 op de markt, die van i-line technologie gebruik maakte (ultraviolet licht met een golflengte van 365 nm). Hiermee konden details van 0,7 micrometer worden afgebeeld. ASM International verkocht in 1988 haar belang in ASML aan Philips. ASML betrad nu ook de Aziatische markt.

In 1989 introduceerde ASML de PAS 5000/50, die details van 0,5 micrometer kon afbeelden. Er werd voor het eerst winst gemaakt. Eén jaar later werden er reeds 200 steppers per jaar geproduceerd.

In 1991 werd de PAS 5000/70 op de markt gebracht, waarmee details tot 0,35 micrometer konden worden afgebeeld. Deze maakte gebruik van licht van 248 nm, in het verre ultraviolet. Hiervoor moest een KrF excimeerlaser worden gebruikt, waar voorheen een kwiklamp werd toegepast. In 1993 begon de productie van step-and-scan machines.

Op 16 maart 1995 bracht Philips ASML naar de beurs. Onder leiding van Willem Maris en Martin van den Brink werd de productiecapaciteit in Veldhoven verdubbeld. In 1998 werd ASML tweede op de wereldranglijst van chipmachineverkopers.

In 1999 kocht ASML het Amerikaanse MaskTools.[5] Het marktaandeel bedroeg 37%.

Op 21 mei 2001 fuseerde ASML met SVGL (Silicon Valley Group Lithography), een bedrijf dat sterk in step-and-scan machines was. ASML betrad de Japanse markt en Philips bracht haar aandeel terug van 23% naar 7%. De golflengte van het laserlicht werd teruggebracht tot 193 nm met een ArF laser.

In 2002 werd ASML wereldmarktleider in chipsmachines. In 2003 waren er al meer dan 2000 ASML-machines geïnstalleerd. Men ging experimenteren met F2 (fluor) lasers die een golflengte van 157 nm hadden, maar uiteindelijk besloot men zich te richten op de vertrouwde golflengte van 193 nm en de immersietechnologie verder te ontwikkelen, waardoor met dit licht kleinere details te verkrijgen waren. In 2005 werd de Twinscan XT:1700i aangekondigd, die van immersietechnologie gebruik maakte.

Augustus 2006 werden de eerste twee demonstratie-systemen voor EUV (Extreem UltraViolet, licht met een golflengte van 13,5 nm) verscheept naar de ontwikkelcentra IMEC (Leuven, België) en CNSE (Albany, New York). Begin 2007 werd het Amerikaanse Brion gekocht.[6] In 2007 werd ook de eerste Twinscan XT:1900i op de markt gebracht, voor het afbeelden van logic devices tot 32 nm en memory devices tot 40 nm.[7]

In 2009[8] werd de Twinscan NXT:1950i op de markt gebracht. Door gebruik te maken van magnetische levitatie kon het aantal belichte wafers per tijdseenheid verhoogd worden. Verder konden de afbeelding worden verkleind door een andere positiebepaling te introduceren.[9]

Op 17 oktober 2012 maakte ASML de overname bekend van de Amerikaanse lichtbronleverancier Cymer voor $ 1,95 miljard in geld en aandelen[10]. Het gaat om de grootste overname in de geschiedenis van ASML. Met de overname wil ASML de ontwikkeling van de nieuwste machines, die gebruikmaken van extreem ultraviolet licht (EUV), versnellen. De overname zal leiden tot meer efficiëntie in de toeleveringsketen en in onderzoek en ontwikkeling. Het hoofdkantoor van Cymer staat in San Diego er er werken circa 1.200 voltijdsmedewerkers. In 2011 behaalde Cymer een nettowinst van $ 80 miljoen op een omzet van $ 594 miljoen. De overname werd in mei 2013 afgerond.

Strategische aandeelhouders[bewerken]

In juli 2012 maakte ASML bekend dat het 25% van het aandelenkapitaal heeft gereserveerd voor technologiebedrijven die ook belangrijke afnemers zijn. Deze aandeelhouders worden partners in het zogenaamde Customer Co-Investment Program dat zich richt op onderzoek en ontwikkeling van een nieuwe generatie lithografietechnologieën.[11] De ontwikkeling van wafers met een diameter van 450mm maakt hier onderdeel van uit en ook de verdere ontwikkeling van de chips productie met EUV (Extreem UltraViolet). Dit programma behelst een totale investering van € 1,38 miljard gespreid over de jaren 2012 tot en met 2017. De opbrengst van de aandelenverkoop, circa € 4,2 miljard, zal worden gebruikt om voor eenzelfde bedrag bestaande aandelen terug te kopen. Op 4 december 2012 maakte ASML bekend dat de aandelen daadwerkelijk zijn ingekocht.[12] In totaal zijn 96,6 miljoen aandelen uit de markt gehaald tegen een gemiddelde koers van € 39,91 per aandeel. ASML heeft in totaal € 3,85 miljard besteed aan deze aandeleninkoop. De aandelen die aan de strategische zijn verstrekt hebben géén stemrecht. De partners mogen geen aandelenbelang van meer dan 19,9% in ASML opbouwen in de komende zes jaar.

Het Amerikaanse Intel is de eerste strategische aandeelhouder; Intel verkrijgt een aandelenbelang van 15% en gaat € 830 miljoen aan het ontwikkelingsprogramma bijdragen. Voor Intel betekent dit een totale investering van € 3,3 miljard. Medio augustus volgde het Taiwaneese chipbedrijf TSMC dat voor € 838 miljoen een aandelenbelang van 5% in ASML gaat kopen.[13] Ook dit bedrijf zal de komende vijf jaar € 276 miljoen in het project investeren. De laatste strategische aandeelhouder is Samsung; zij investeren ook € 276 miljoen en daarnaast neemt het Zuid-Koreaanse bedrijf een belang van 3% in ASML.

Resultaten[bewerken]

ASML levert wereldwijd, maar de meeste van haar klanten zijn gevestigd in Azië. In 2011 werd 66% van de omzet in die regio behaald, 25% in de Verenigde Staten en iets minder dan 9% in Europa.[14] De grootste klant was verantwoordelijk voor een kwart van de totale omzet. De belangrijkste leverancier van ASML is Zeiss, een fabrikant van lenzen en optische componenten. Het aandeel van Zeiss in de totale inkoopkosten van ASML is iets minder dan 30%.[14] Vanwege de grote wederzijdse belangen zijn beide bedrijven een strategisch alliantie aangegaan; deze kan alleen verbroken worden als een van de partijen drie jaar te voren opzegt. ASML geeft veel geld uit aan onderzoek en ontwikkeling; in 2011 werd bijna €600 miljoen aan R&D uitgegeven.[14]

De omzet- en winstontwikkeling laat grote schommelingen zien, zie onderstaande figuur. De vraag naar halfgeleiders fluctueert op basis van economische en technologische ontwikkelingen. Als belangrijke toeleverancier ziet ASML deze schommelingen versterkt terug in de eigen bedrijfsvoering. Dit is vooral zichtbaar in de orders die het bedrijf ontvangt; in 2009 kreeg het bestellingen voor 98 apparaten, in 2010 verdrievoudigde dit tot zo’n 285 stuks om in 2011 weer terug te zakken naar 134 eenheden.[14] Het aantal afleveringen bedroeg over deze drie jaren respectievelijk 70, 197 en 222 eenheden.[14] De gemiddelde verkoopprijs per afgeleverde eenheid was over deze periode plm. € 19 miljoen.[14]

Jaar Omzet Winst Afgeleverd
2000 Gestegen € 2,67 miljard Gestegen € 378,05 miljoen
2001 Gedaald € 1,59 miljard Gedaald € - 478,99 miljoen
2002 Gestegen € 1,96 miljard Gestegen € - 207,82 miljoen
2003 Gedaald € 1,54 miljard Gestegen € - 124,51 miljoen
2004 Gestegen € 2,47 miljard Gestegen € 235,46 miljoen
2005 Gestegen € 2,53 miljard Gestegen € 311,46 miljoen
2006 Gestegen € 3,58 miljard Gestegen € 618,55 miljoen
2007 Gestegen € 3,77 miljard Gestegen € 671,00 miljoen 260 stuks
2008 Gedaald € 2,95 miljard Gedaald € 322,37 miljoen Gedaald 151 stuks
2009 Gedaald € 1,60 miljard Gedaald € -150,92 miljoen Gedaald 70 stuks
2010 Gestegen € 4,51 miljard Gestegen € 1,02 miljard Gestegen 197 stuks
2011 Gestegen € 5,65 miljard Gestegen € 1,47 miljard Gestegen 222 stuks
2012 Gedaald € 4,73 miljard Gedaald € 1,15 miljard Gedaald 170 stuks
2013 Gestegen € 5,25 miljard Gedaald € 1,02 miljard Gedaald 157 stuks

Externe link[bewerken]

Bronnen, noten en/of referenties
  1. (en) ASML jaarverslag 2012, geraadpleegd 24 april 2013
  2. fabtech.org - ASML claimt 61% marktaandeel
  3. ASML persbericht (26 februari 2007)
  4. (en) asml.com - what do the letters ASML stand for?
  5. ASML to Aquire MaskTools - ASM Lithography buying MicroUnity Systems unit - Company Business and Marketing
  6. ASML Reinforces Potential for Value Generation in Advanced Semiconductor Lithography with Acquisition of Brion Technologies
  7. ASML: Press - Press Releases - Early Success of the TWINSCAN XT:1900i Scanner Reinforces ASML’s Immersion Leadership Around the World
  8. Eerste NXT TWINSCAN volgens Bits^& Chips
  9. Met nxt platform zet asml stap van luchtlagering naar zwevend magneettapijt, mechatronicamagazine
  10. De Telegraaf, ASML doet grootste overname ooit, 17 oktober 2012 Geraadpleegd op 2012-10-20
  11. ASML kondigt Customer Co-Investment programma aan persbericht: 9 juli 2012 Geraadpleegd op 2012-08-13
  12. ASML persbericht, Terugkoop aandelen afgerond, 4 december 2012 Geraadpleegd op 2012-12-04
  13. De Telegraaf: TSMC koopt 5%-belang in ASML, 6 augustus 2012 Geraadpleegd op 2012-08-13
  14. a b c d e f (en) ASML jaarverslag 2011, geraadpleegd 16 juli 2012 document